Disiliciure de tungstène

Le disiliciure de tungstène est un composé chimique de formule WSi2. Il s'agit d'une céramique réfractaire semiconductrice de couleur bleu-gris[3], obtenue notamment en faisant réagir de l'hexafluorure de tungstène WF6 avec du silane SiH4, du dichlorosilane SiH2Cl2 ou du disilane Si2H6[4] :

2 SiH4 + WF6WSi2 + 6 HF + H2 ;
2 SiH2Cl2 + WF6 + 3 H2WSi2 + 6 HF + 2 HCl ;
Si2H6 + WF6WSi2 + 6 HF.

Disiliciure de tungstène
__ W       __ Si
Structure cristalline du disiliciure de tungtène
Identification
No CAS 12039-88-2
No ECHA 100.031.723
No CE 234-909-0
PubChem 16212546
SMILES
InChI
Propriétés chimiques
Formule Si2W
Masse molaire[1] 240,01 ± 0,01 g/mol
Si 23,4 %, W 76,6 %,
Propriétés physiques
fusion 2 165 °C[2]
Solubilité insoluble dans l'eau
Masse volumique 9,4 g·cm-3[2] à 20 °C

Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.

Il est utilisé comme matériau de contact dans l'industrie des semiconducteurs, où il est appliqué par dépôt chimique en phase vapeur[5] (CVD).

Notes et références

  1. Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
  2. « Fiche du composé Tungsten silicide, 99.995% (metals basis excluding Mo), Mo <20ppm  », sur Alfa Aesar (consulté le ).
  3. (en) W. M. Haynes, CRC handbook of chemistry and physics. A ready-reference book of chemical and physical data, David R. Lide, 93e édition, CRC Press, Boca Raton, 2012, p. 4-96. (ISBN 978-1-4398-8049-4)
  4. (en) Hugh O. Pierson, Handbook of Chemical Vapor Deposition. Principles, Technology and Applications, William Andrew, Elsevier Science, 1999, p. 332. (ISBN 0-8155-1743-2)
  5. (en) R. A. Levy, Microelectronic Materials and Processes, Springer, 1989, p. 204, 237 sqq.. (ISBN 0-7923-0154-4)
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