Lithographie par faisceau d'électrons focalisé

Aussi appelée lithographie électronique. En anglais : Electron Beam Lithography (EBL).

Lien externe

(fr) Chapitre 2 de ce document (thèse A. Martinez-Gil)

Portail des micro et nanotechnologies

Cet article est issu de Wikipedia. Le texte est sous licence Creative Commons - Attribution - Partage dans les Mêmes. Des conditions supplémentaires peuvent s'appliquer aux fichiers multimédias.