Microsystème opto-électro-mécanique

Les microsystèmes opto-électro-mécaniques (ou MOEMS, sigle de l'anglais Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems[1]) forment un sous-ensemble des systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems). Les MOEMS, fabriqués à partir de matériaux semi-conducteurs, sont capables de capter ou de manipuler des signaux optiques à une échelle très petite, utilisant des systèmes mécaniques ou électriques intégrés.

La technologie de fabrication des MOEMS est basée sur celle des circuits intégrés. Les matériaux utilisés sont le silicium, le dioxyde de silicium (SiO2), le nitrure de silicium et l'arséniure de gallium (GaAs).

Quelques exemples de MOEMS

Voir aussi

Bibliographie

  • Allain Trouillet, Introduction à la Micro Optique, cours en ligne, 2008
    Présentation descriptive de l'historique, des principaux concepts de bases et des principales techniques de fabrication des microsystèmes optiques, Consortium « Optique pour l'ingénieur»
  • Allain Trouillet, Applications de la micro-optique, cours en ligne, 2008
    Présentation descriptive des applications principales des microsystèmes optiques classées à la fois en fonction des propriétés optiques mises en jeu et des domaines d'application envisagés, consortium « Optique pour l'ingénieur»

Notes

Articles connexes

Liens

  • Portail des micro et nanotechnologies
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