ثنائي كلورو السيلان
ثنائي كلورو السيلان (H2SiCl2) (اختصاراً DCS) وعادة ما يخلط مع الأمونيا (NH3) في غرف الترسيب الكيميائي للبخار (LPCVD) لإنتاج نيتريد السيليكون في معالجة أشباه الموصلات.[1][2]
ثنائي كلورو السيلان | |
---|---|
الاسم النظامي (IUPAC) | |
Dichlorosilane | |
أسماء أخرى | |
Silicic dichloride dihydride | |
المعرفات | |
رقم CAS | 4109-96-0 |
بوب كيم (PubChem) | 61330 [PubChem] 22967941 [PubChem] |
مواصفات الإدخال النصي المبسط للجزيئات
| |
| |
الخواص | |
صيغة كيميائية | H2Cl2Si |
كتلة مولية | 101.01 غ.مول−1 |
المظهر | Colorless gas with characteristic odor |
نقطة الانصهار | -122 °س، 151 °ك، -188 °ف |
نقطة الغليان | 8 °س، 281 °ك، 46 °ف |
الذوبانية في الماء | Reacts |
ضغط البخار | 163.6 كـبا (20 °م) |
المخاطر | |
صحيفة بيانات سلامة المادة | ICSC 0442 |
فهرس المفوضية الأوروبية | Not listed |
مخاطر | Extremely flammable gas, explosive in air |
NFPA 704 |
4
4
2
|
نقطة الوميض | −28 °م |
حدود الاشتعال | 4.1–99% |
مركبات متعلقة | |
chlorosilanes ذات علاقة | Chlorosilane ثلاثي كلورو السيلان رباعي كلوريد السيليكون |
مركبات ذات علاقة | Difluorosilane Dibromosilane ثنائي كلورو الميثان |
في حال عدم ورود غير ذلك فإن البيانات الواردة أعلاه معطاة بالحالة القياسية (عند 25 °س و 100 كيلوباسكال) | |
عند استخدام تركيز عالي من ثنائي كلورو سيلان : أمونيا (مثلاً، 16 :1)، عادة ماينتج أفلام (طبقة رقيقة) نيتريد منخفضة الإجهاد.
وهو وسيط بين السيلان ورباعي كلوريد السيليكون.
طالع أيضاً
مراجع
- Record of CAS RN 4109-96-0 in the GESTIS Substance Database from the IFA, accessed on 9 décembre 2012
- "nchem.403-comp13 - Compound Summary"، PubChem Compound، USA: National Center for Biotechnology Information، 27 مارس 2005، Identifiers and Related Records، مؤرشف من الأصل في 10 أكتوبر 2012، اطلع عليه بتاريخ 30 نوفمبر 2011.
- بوابة الكيمياء
- بوابة علم المواد
This article is issued from Wikipedia. The text is licensed under Creative Commons - Attribution - Sharealike. Additional terms may apply for the media files.