Orthosilicate de tétraéthyle
L'orthosilicate de tétraéthyle (TEOS) est un composé chimique de la famille des alkoxydes de silicium, de formule Si(OCH2CH3)4 ou plus simplement Si(OEt)4. L'orthosilicate de tétraéthyle, abrégé TEOS (pour tetraethylorthosilicate), est généralement utilisé dans l'industrie dans les procédés sol-gel. Il est l'un des précurseurs de silice les plus utilisés pour les procédés sol-gel.
| Orthosilicate de tétraéthyle | |||
  Structure de l'orthosilicate de tétraéthyle. |
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| Identification | |||
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| Nom UICPA | Silicate de tétraéthyle | ||
| No CAS | |||
| No ECHA | 100.000.986 | ||
| No CE | 201-083-8 | ||
| PubChem | 6517 | ||
| SMILES | |||
| Apparence | liquide incolore, d'odeur caractéristique[1] | ||
| Propriétés chimiques | |||
| Formule | C8H20O4Si [Isomères] Si(C2H5O)4 |
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| Masse molaire[2] | 208,327 5 ± 0,009 3 g/mol C 46,12 %, H 9,68 %, O 30,72 %, Si 13,48 %, 208,33 |
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| Propriétés physiques | |||
| T° fusion | −77 °C[1] | ||
| T° ébullition | 168 °C[1] | ||
| Miscibilité | dans l'eau : hydrolyse lente[1] | ||
| Masse volumique | 0,93 g·cm-3[1] | ||
| Point d’éclair | 37 °C (coupelle fermée)[1] | ||
| Limites d’explosivité dans l’air | 1,3–23 %vol[1] | ||
| Pression de vapeur saturante | à 20 °C : 200 Pa[1] | ||
| Précautions | |||
| SGH[3] | |||
  Attention |
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| SIMDUT[4] | |||
  B2, B6, D2B, |
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| NFPA 704 | |||
| Transport | |||
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| Écotoxicologie | |||
| Seuil de l’odorat | bas : 3,6 ppm[5] | ||
| Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire. | |||
Le TEOS est généralement produit par alcoolyse du tétrachlorure de silicium SiCl4 dans de l'éthanol CH3CH2OH :
Il est utilisé pour la réticulation de silicones et possède certaines applications comme précurseur du dioxyde de silicium SiO2 dans l'industrie des semi-conducteurs[6] dans le cadre d'une réaction sol-gel. La propriété remarquable du TEOS est en effet de former du SiO2 par simple hydrolyse en libérant de l'éthanol CH3CH2OH :
Références
- SILICATE DE TETRAETHYLE, Fiches internationales de sécurité chimique
- Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
- Numéro index dans le tableau 3.1 de l'annexe VI du règlement CE N° 1272/2008 (16 décembre 2008)
- « Silicate d'éthyle » dans la base de données de produits chimiques Reptox de la CSST (organisme québécois responsable de la sécurité et de la santé au travail), consulté le 25 avril 2009
- « Ethyl silicate », sur hazmap.nlm.nih.gov (consulté le )
- (en) D.A.P Bulla et N.I Morimoto, « Deposition of thick TEOS PECVD silicon oxide layers for integrated optical waveguide applications », Thin Solid Films, vol. 334, nos 1-2, , p. 60-64 (lire en ligne) DOI:10.1016/S0040-6090(98)01117-1
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