Trifluorure d'azote

Le trifluorure d'azote est utilisé pour la gravure ionique réactive des wafers en silicium. Le NF₃ y est décomposé in situ en azote et fluor, et les radicaux fluor obtenus agissent comme des agents nettoyants qui attaquent le silicium. Il peut être aussi utilisé avec le nitrure de silicium, le siliciure de tungstène, et le tungstène produits par dépôt chimique en phase vapeur. Dans toutes ces applications, le NF₃ a été choisi vers l'an 2000 comme substitut plus protecteur pour l'environnement aux perfluorocarbures comme l'hexafluoroéthane (C₂F₆) et l'hexafluorure de soufre (SF₆)[8]. Les deux tiers environ des PFC s'échappaient dans l'atmosphère ; on considérait que le NF₃ avait de bien moindres chances de s'échapper dans l'air.

Le trifluorure d'azote est aussi utilisé dans les lasers à fluorure d'hydrogène et de deutérium, qui sont deux types de lasers à gaz. On le préfère au difluor gazeux parce qu'il est plus facile à manipuler, car considérablement plus stable.

On peut l'utiliser avec l'acier et le Monel, ainsi qu'avec plusieurs plastiques.

Le NF₃ est un exemple rare de fluorure binaire qu'on ne peut pas préparer directement à partir de ses éléments (c'est-à-dire que N₂ ne réagit pas avec F₂). Presque tous les autres éléments du tableau périodique réagissent directement, souvent de manière violente, avec le fluor.

Après une première tentative en 1903, Otto Ruff a réussi, 25 ans plus tard, à synthétiser le trifluorure d'azote par l'électrolyse d'un mélange fondu de fluorure d'ammonium et de fluorure d'hydrogène[9]. Il s'est avéré beaucoup moins réactif que le trichlorure d'azote. Il est aujourd'hui préparé par une réaction directe d'ammoniac et de fluor, et une variante de la méthode de Ruff[10].

On peut s'en procurer sous la forme de cylindres pressurisés.

Le NF₃ ne fait pas partie des gaz à effet de serre réglementés par le Protocole de Kyoto. Toutefois, l'accord de Durban propose de l'intégrer à la liste des gaz couverts pour la période à suivre du protocole de Kyoto[12].

Bien que le NF₃ ait un potentiel de réchauffement global élevé (estimé 17 200 fois celui du CO₂ sur une période d'un siècle, ce qui le place en second sur ce critère, derrière le SF₆[13] ^,[14]^,[15]^,[16].), son forçage radiatif dans l'atmosphère terrestre est très faible, estimé à 0,001 W m⁻², puisqu'il n'y est relâché que dans des quantités très faibles : en 2008, le contenu total de ce gaz dans l'atmosphère est estimé à 5 400 tonnes (en augmentation d'environ 11 pour cent par an), et sa concentration maximum dans l'atmosphère telle qu'elle est évaluée est inférieure à 0,16 partie par billion (ppt) en volume[17]. Une étude de 2008, utilisant des techniques d'échantillonnage améliorées a trouvé une concentration troposphérique planétaire moyenne de 0,454 partie par billion (ppt) par fraction de mole d'air sec[18]. Sa durée de séjour dans l'atmosphère est estimée à 740 ans[13], bien que des travaux récents suggèrent une durée légèrement plus courte de 550 ans (et un PRG correspondant de 16 800 fois celui du CO₂)[19].

Les applications industrielles utilisant le NF₃ le décomposent, alors que les composés réglementés que sont le SF₆ et les PFC sont généralement relâchés dans l'air[19]^,[20].

Depuis 1992, où moins de 100 tonnes étaient produites, la production mondiale a grimpé pour atteindre de l'ordre de 4 000 tonnes en 2007. On estime qu'elle continuera à augmenter de manière significative[19], pour atteindre environ 8 000 tonnes par an en 2010.

Le contact avec la peau du NF₃ n'est pas dangereux, et ce gaz est un irritant relativement faible pour les muqueuses et les yeux. C'est aussi un irritant pulmonaire : sa toxicité est comparable à celle des oxydes d'azote, et une surexposition par inhalation transforme l'hémoglobine du sang en méthémoglobine, ce qui provoque un état de méthémoglobinémie[21].

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